光照射型除電装置（イオナイザ/イオナイザー）：IRYSYS
光がガス分子を直接イオン化して除電する、強力で小型の軟X線照射除電装置です。光照射除電方式は発塵が全く無く、電磁ノイズもほとんど発生しません。また、ガスの流動状態に関係なく安定した除電性能が得られます。N2、Ar などの不活性ガス中での除電も可能です。
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光がガス分子を直接イオン化して除電する、強力で小型の軟X線照射除電装置です。光照射除電方式は発塵が全く無く、電磁ノイズもほとんど発生しません。また、ガスの流動状態に関係なく安定した除電性能が得られます。N2、Ar などの不活性ガス中での除電も可能です。
