ウエハ・フープの除電

イオナイザーによる対策

両サイドからの除電

両側からイオンを供給し、表裏をムラなく均一に除電します。

格納・取り出し時の帯電抑制

フープやウエハの帯電を低レベルに保ち、品質を確保します。

フープからの誘導帯電

フープの帯電まで気にされる方は…。
ウエハはフープからの誘導やガイド部分との摩擦により帯電します。
フープの除電も重要です。