电晕放电式(外施电压式)的种类
交流式(AC方式)
利用交流电源,从一个放电针交互产生正离子(+)和负离子(-)的方式。交流式适合近距离、无风状态下除静电,被用于多种生产现场。
高频型(约70kHz)商用频率型(50/60Hz)
何为高频型
远高于商用频率的频率(约70kHz),将高电压施加于放电针上,产生电晕放电,能够均匀大量产生正离子(+)和负离子(-),发挥较高的除静电效果。
尤其是将软管用于除静电,可以实现其他方式(商用频率型和直流式)无法做到的点式除静电。甚至能够避免在放电针产生的电场接近半导体元件等时产生伤害。
与商用频率型的比较
商用频率型的特点是由于使用绕组变压器,因而装置较重,形状也较大。与此相对,由于高频型在基板上装配元件,因此形状极小、重量较轻,可装配于半导体相关装置的狭小空间中,用途广泛。
商用频率型 | 高频型 | ||
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放电频率 | 50/60Hz | 20~80kHz | |
外施电压 | 5~8kV | 2~4kV 连续施加 |
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产生电荷 | 从1根放电针交互产生正负电荷 | ||
形状 | 中型、重 | 小型、轻 | |
高压布线 | 需要 | 电源内置、不要 | |
除静电性能 | 远距离 | 良 | |
外施电压 | 近距离 | 优 | |
外施电压 | 高速应对 | 不可(如果使用多根则可) | 良 |
通过管子等进行电荷输送 | 不可 | 优 | |
带电物体间距离 | 不可靠近 | 可以靠近 | |
电荷平衡度 | 良 (高频型由于频率较高,相对于时间的变动较少) |
稳态直流式(DC方式)
分别向两根放电针外加正离子(+)和负离子(-)的方式。特点是由于一直施加高压,离子量较多、除静电速度较快。放电针的磨损因正离子(+)和负离子(-)而不同,因此随着时间经过,离子平衡电压有变大倾向。
脉冲直流式 (pulsed DC方式)
特点是除静电速度快,但是由于含有各种频率成分,有噪音大的倾向。
对于放电针周围的绝缘体脏污,可能因电流泄漏导致绝缘体损坏。
混合数字控制-AC式(HDC-AC方式)
对正离子(+)和负离子(-)的释放进行数字控制,具有独特的离子平衡调整功能。可以对高速移动的物体进行均匀除静电,令除静电方式更加进化。对于放电针的脏污特性变化小,无需频繁清扫,也能保持长期稳定的除静电性能。